1962年、
世界で初めて九州大学・清山哲郎先生が
「Chemical Sensor」のコンセプトを提起し、
化学センサの歴史はスタートしました

50年以上に渡るISFETとLAPSの研究開発史を、タイムラインでまとめました。
(上写真内人物は、アイスフエトの黎明期を支えられた東北大学・松尾教授)

ISFETの初めの頃のこと

ISFET開発の黎明期の逸話は、松尾正之東北大学教授が Chemical Sensors Vol. 3, No. 4 (1987)「ISFETの初めの頃のこと」(別ウィンドウで開きます)で 詳細に説明されています。併せてご一読ください。

1960年代

世界で最初に、九州大学清山哲郎先生が「Chemical Sensor(化学センサ)」のコンセプトを提起し命名
1970年代はじめ

(P. Bergveldオランダ)世界最初のISFETデバイスの概念が発表

Development of an ion-sensitive solid-state device for neurophysiological measurements,IEEE Trans. Biomed. Eng. BME-17
Bergveldの論文で、比較電極なしのゲートフロートの測定系で不安定だがイオンによってゲート電圧が変化するという現象を報告

1971年

(松尾、江刺、飯沼)電気関連学会東北支部大会でISFETの動作を世界で初めて証明

東北大学・松尾、江刺、飯沼グループにより、FETのゲート膜に窒化シリコン膜を採用し比較電極も導入することにより、安定的に再現性良くイオンセンサとして動作することを世界で初めて証明された

1974年

論文発表

(T. Matsuo, K.D. Wise)"An integrated field effect electrode for biopotential recording", IEEE Trans. Biomed. Eng. BME-21

1975年

(I. Lundstrom スウェーデン) 世界最初のSi-MOSFET型ガスセンサの発表

S. Shivaraman, C. Svensson, and L. Lundkvist "A hydrogen sensitive MOS field effect transistor", Appl. Phys. Lett. 26, 55

東北大学でISFETの試作研究開始

マイクロマシーンによるニードル型ISFETの製作成功

1976年

クラレと新電元工業がISFETpHセンサの実用化研究を開始
1978年

新電元工業・伊藤善孝「シリコンプレナーISFET」を提案
1980年

東北大学・松尾正之、酸化タンタル膜ゲートISFETを開発
1985年

東北大学・庄司習一、MAS(M2O-Al2O3-SiO2)ガラスを用いたNa+,K+,Ca++センサの開発
東北大学・松尾正之、ニュートラルキャリアを用いたNa+,K+センサの開発
埼玉大学・勝部昭明、IrOxゲートISFETの開発
東京工業大学・森泉豊英、グルコースセンサの開発
(Y. Miyahara, T. Moriizumi) "Integrated Enzyme FETs for Simultaneous Detections of Urea and Glucose",Sensors and Actuators, 7, 1
1986年

US Patent 4758786 Molecular Device Corporation(Dean G. Hafeman)
Molecular Device Corporationの Dean G. Hafemanが 第2回化学センサ国際会議(ボルドー)で最初のLAPS報告
US Patent 4758786 Molecular Device Corporation(Dean G. Hafeman)
Molecular Device CorporationのDean G. Hafemanが 第2回化学センサ国際会議(ボルドー)で最初のLAPS報告
1987年

(NEC・栗山秀敏) "A Lift off Method for Patternig Enzyme Immobilized Membranes in Multi-Biosensor", Sensors and Actuators, 13, p. 165
1988年

Dean G. Hafeman, Sience誌(240)に最初のLAPS論文を発表し注目される
1990年


1990年から1995年にかけて、埼玉大学・勝部昭明教授の論文、報告が多数集中する

新電元工業・伊藤善孝、SOI構造LAPSの基本特許
埼玉大学・勝部昭明、第1回バイオセンサ国際会議(シンガポール)にて日本からの最初のLAPS報告
1991年

(株)テクノローグ(松田・伊藤協力)LAPSによるマイクロフィジオロメータの試作
新電元工業・伊藤善孝、SOI構造LAPSの基本特許
埼玉大学・勝部昭明ほか、「表面光電圧法を用いた集積化(味覚)センサ」で、ケミカルイメージセンサの最初の報告
新電元工業・伊藤善孝、LAPSガスセンサの基本特許。第4回化学センサ国際会議で「LAPS gas sensors」を発表
1993年

埼玉大学・勝部昭明、第16回化学センサ研究会でLAPS酵素センサと2次元イメージセンサの報告
新電元工業・伊藤善孝、Chemical SensorsVol. 9, No. 2 CCDのようなLAPSイメージセンサを紹介、提唱。第1回東アジア化学センサ国際会議にて、ビームスキャンによるLAPSシステムを発表
1994年

新電元工業・伊藤善孝、第18回化学センサ研究会でSOI構造LAPSの報告(pHイメージセンサの報告)
1995年

新電元工業・ポケットISFET pH計 KS501の製造販売開始

埼玉大学・勝部昭明、信学技報Vol.95 No.138 LAPSイメージセンサの高速化信号処理法を報告
(伊藤、勝部、小方)LAPSの差動構成法を特許提出 
新電元工業・伊藤善孝、信学技報Vol.95 No.138 SOI構造による高空間分解能LAPSイメージセンサ
1996年

新電元工業・伊藤善孝、第6回化学センサ国際会議「高空間分解能SOI-LAPS」
1997年

新電元工業・ポケットISFET-pH計KS701、723の製造販売開始

新電元工業・伊藤善孝、第2回東アジア化学センサ国際会議「高空間分解能pHイメージセンサ」
1997年

新電元工業・伊藤善孝、ISFETによるpHセンサの開発と実用化に対する研究により、社団法人電気化学会 化学センサ研究会「第一回清山賞」を受賞
2002年

アイスフエトコム・伊藤善孝、SSDM 2002名古屋にて優秀論文賞受賞
2007年

アイスフエトコム株式会社設立。代表・伊藤善孝
アイスフエトコム・ISFET-pH計S2K712の生産と販売を開始
2009年

アイスフエトコム・ISFET-pH計S2K922の生産と販売を開始
2013年

アイスフエトコム・新電元工業製ISFET‐pH計KSシリーズからS2K712への改造サービスを開始
2014年

ISFET搭載機器の共通マークとして「ISFET Device Trade Mark」を登録し、使用開始。
ISFET Device Trade Mark
2017年

アイスフエトコム・伊藤善孝、第10回「でんきの礎」に顕彰・登録
2021年

アイスフエトコム直販サイト《ISFET DIRECT》運用開始
2022年

アイスフエトコム・次世代新シリーズ《S2K333》《S2K222》を同時発売